多功能化學氣相沉積高性價比的選擇「在線咨詢」

利用新納米技術開發(fā)的功能金屬氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film metal-Oxides Materials，具有優(yōu)良的電磁傳導、物理化學和機械性能，可廣泛應用于節(jié)能照明、顯示電子、化合物檢測、柔性透明和氣體傳感等領域，具有開啟后硅基半導體電子新時代的巨大潛力。歐盟第七研發(fā)框架計劃（FP7）提供980萬歐元資助，總研發(fā)投入1340萬歐元，由歐盟8個成員國德國（總協(xié)調）、英國、意大利、比利時、荷蘭、葡萄牙、希臘和斯洛文尼亞，微納米電子工業(yè)界聯(lián)合科技界組成的歐盟微納米電子技術平臺（ORAMA ETP）。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至小。在建立緊密合作型研發(fā)創(chuàng)新公私伙伴關系（PPP）的同時，將長期致力于功能金屬氧化物薄膜材料的研制開發(fā)及商業(yè)化推廣應用?！?

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 

周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設備的正常使用；而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣，要達到預期的真空度很難的。

一、鍍膜作業(yè)步驟:1.鍍膜前洗凈。2.抽檢鏡片外觀確認(裂邊,傷痕,不潔)情況,全檢鏡片鎖板情況(鏡片傾斜）。3.確認好準備鍍膜的鏡片(數(shù)量,機種,面別)并做好相應記錄。4.上傘,將鏡片從包裝盒內裝到鍍膜機臺傘架上(主意帶手套拿取鍍膜板四周,勿碰到鏡片。5.區(qū)分需要鍍膜鏡片種類面別。6.清潔坩堝電子槍周圍用銅刷刷,吸,并添加藥材。7.確認晶振片,監(jiān)控片是否OK在新的位置。溶液凝膠法：也稱雙面鍍膜浸漬法，鍍膜方法是將玻璃浸漬在化學溶液中，在玻璃表面形成一層薄膜，此化學膜層粘附在玻璃之表面上，膜厚可通過50％的入射線，其余反射掉，吸收光線很少。8.確認機臺內無雜物,后關門排氣加熱。9.鍍膜選取相應的制程。10.人員鍍膜過程中進行監(jiān)控。11.下傘，將鍍膜后的鏡片從傘架取下,放入包裝盒。12.抽檢，主要為膜點,霧狀,顏色異常,不潔。13.光譜測量采用奧林巴斯反射測定儀和U4100分光光度計。14.傘架每圈抽1PCS共5圈。15.膜強度測試(采用3M膠帶粘拉膜3次)。16.光譜量測OK后可送出。

真空鍍膜的方法很多，計有：(1)真空蒸鍍：將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室，抽空后將膜料加熱到高溫，使蒸氣達到約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面，凝結而成薄膜。(2)陰極濺射鍍：將需鍍膜的基體放在陰極對面，把惰性氣體(如)通入已抽空的室內，保持壓強約1.33～13.3Pa，然后將陰極接上2000V的直流電源，便激發(fā)輝光放電，帶正電的離子撞擊陰極，使其射出原子，濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜。工藝靈活，改變品種方便，可以根據(jù)產品要求靈活地實現(xiàn)在鋼帶上鍍單面、雙面、單層、多層，可以同時鍍兩種材料達到鍍混合膜。(3)化學氣相沉積：通過熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物，獲得沉積薄膜的過程。(4)離子鍍：實質上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機結合，兼有兩者的工藝特點。表6-9列出了各種鍍膜方法的優(yōu)缺點。