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無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。 單流向型無塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室,由于微粒控制的觀念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。
無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多種不同行業(yè)。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
影響無塵室的氣流因素很多,如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。潔凈室內工作的人員都應當充分了解個人衛(wèi)生習慣對潔凈室潔凈程度的影響有多大,這才是很重要的。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當的氣流分流,此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。